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                CKD工藝氣體用減壓閥PGM系列性能介紹可作為選型依據

              1. 發布日期:2023-02-13      瀏覽次數:71
                • CKD的工藝氣體減壓閥擁有專業密封性能、滯后性和重復性。


                  品特點


                  使用示例

                  高耐腐蝕?高品質材料

                  優化設計

                  高密封性

                  高微小流量控制性

                  減少遲滯

                  豐富的產品陣容

                  使用示例


                  蝕刻、成膜裝置中工藝氣體的高精度控制

                  壓力控制·減壓

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                  壓力穩定化

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                  ● 采用高耐腐蝕材料

                  ● 實施電解研磨、超精密加工、超精密清洗


                  image.png.

                  02 優化設計




                  ●盡量減少滑動部

                  ● 膜片結構的優化

                  ● 優化材質,實現平穩動作



                  03 高密封性




                  有助于工藝穩定化。

                  ● 閥座部的優化設計和超精密加工

                  ● 最大限度抑制閥閉動作時的2次側泄漏(流出)


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                  04 高微小流量控制性




                  實現穩定且平穩的動作

                  ● 閥座部形狀的優化設計

                  ● 微小流量下也可穩定控制


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                  05 減少遲滯




                  安全滿足目標壓力。

                  ● 采用高品質材料

                  ● 超精密加工


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                  06 豐富的產品陣容

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